Подшипники для полупроводниковой индустрии
14 марта 2022
Эксперты Подшипник.ру рассказывают об основных особенностях подшипников, применяемых на производствах полупроводниковых чипов.
Как ожидается, начавшийся в 2020 году глобальный дефицит полупроводниковых микросхем, сохранится и в 2022 году, поскольку предложение едва догоняет растущий спрос. Производство полупроводниковых чипов требует особых производственных условий, при которых шум, вибрация и пылевое загрязнение сведены к минимуму. Поэтому в этой сфере к подшипникам предъявляются особые требования.
Производство любого чипа включает в себя несколько процессов. Сначала кремниевые пластины нарезаются и полируются, а затем покрываются светочувствительным покрытием. Затем чип-пластина вставляется в литографическую машину, где подвергается воздействию ультрафиолета. После удаления деградировавшего резиста на пластине вытравливается необходимый рисунок. Затем компоненты на пластине нарезаются, тестируются и упаковываются. Подшипники используются буквально на каждом этапе производства.
1. Сверхчистая среда
Заводы по производству полупроводников должны соответствовать самым строгим протоколам. Одна пластина может пройти до 200 этапов обработки с соблюдением множества стандартов, а это означает, что производственная площадка должна быть полностью стерильной, а воздух должен быть свободен от частиц, которые могут повредить чипы.
Соответствие этим строгим отраслевым стандартам означает установку мощных систем отопления, вентиляции и кондиционирования чистых помещений, также систем фильтрации для очистки и циркуляции воздуха. Кроме того, некоторые машины в этих чистых помещениях могут иметь собственные системы для удаления нечистого воздуха и частиц.
2. Предотвращение дегазации
При производстве микроэлектроники одной из наиболее сложных проблем является молекулярное загрязнение воздуха. Выделение паров из материалов оборудования в чистых помещениях, таких как кремний, германий и арсенид галлия, является наиболее значительным источником загрязнения летучими органическими соединениями, которые могут негативно повлиять на производственные инструменты и увеличить затраты.
Поддержание стабильного производства полупроводников означает постоянный мониторинг для выявления источников загрязнения. Выбор материала подшипника и смазки может помочь предприятияи избежать осложнений за счет сведения к минимуму возможности газовыделения.
В условиях вакуума или в чистых помещениях наиболее оправдано использование подшипников из нержавеющей стали, поскольку она демонстрирует низкое газовыделение. Также неплохим выбором являются пластиковые подшипники, изготовленные из полиэфирэфиркетона, а также керамические подшипники из нитрида кремния, но окончательный выбор будет зависеть от конкретных нагрузок и условий эксплуатации
Еще одна проблема заключается в том, что большинство используемых смазок имеют летучие компоненты, которые испаряются, загрязняя окружающую среду. Поэтому на производствах полупроводников часто используются специальные перфторированные смазки с низкой летучестью и низким уровнем газовыделения. Если оборудование работает на низких скоростях, можно вообще не использовать смазку (особенно это оправдано для керамических и пластиковых подшипников), а для подшипников из нержавеющей стали можно выбрать «сухую» смазку, такую как дисульфид молибдена.
3. Уменьшение вибрации
Процессы нагрева, охлаждения и фильтрации, используемые для получения необходимого чистого воздуха, требуют слаженной работы насосов, труб, воздуховодов и вентиляционных систем, которые создают нежелательную вибрацию, если они не изолированы должным образом. Вибрации в чистом помещении и за его пределами могут серьезно повлиять на качество полупроводниковой продукции.
Высококачественные подшипники необходимы для минимизации шума и вибрации. В чистых помещениях они должны быть малошумными, чтобы предотвратить разрушительную вибрацию, которая может нарушить работу высокочувствительного оборудования, такого как литографические машины. Неровные или поврежденные шарики или дорожки качения, недостаточная смазка создают шум, который может препятствовать производству полупроводников. Поэтому необходимо регулярно контролировать чистоту поверхности и круглость шариков и колец подшипников.
Выбор смазки также имеет решающее значение для контроля вибрации. Мы рекомендуем использовать тонко отфильтрованные малошумные смазки, поскольку они содержат меньше твердых частиц, создающих шум при прохождении между шариками и дорожкой качения.
Если оборудование для нарезки полупроводниковых машин используется в течение длительного периода времени, также рекомендуется использовать смазку с низким уровнем шума, чтобы подшипник работал тихо. Выбор смазки должен быть тщательно продуман с учетом внутренней среды и температуры чистого помещения, а также требований к скорости работы.
Выбор высокоточных подшипников с низким уровнем шума и применение специальных смазок поможет заводам по производству полупроводников избежать нарушения работы высокочувствительного оборудования и поддерживать стабильное производство полупроводников в то время, когда отрасль отчаянно нуждается в отказоустойчивости.
Вы можете уточнить наличие и стоимость высококачественных импортных подшипников из нержавеющей стали, из промышленной керамики и трибополимеров для полупроводниковой промышленности на складе Подшипник.ру в Москве, а также заказать их доставку в любую точку России по телефону +7 (495) 543-89-93 или электронной почте info@podshipnik.ru.
Как ожидается, начавшийся в 2020 году глобальный дефицит полупроводниковых микросхем, сохранится и в 2022 году, поскольку предложение едва догоняет растущий спрос. Производство полупроводниковых чипов требует особых производственных условий, при которых шум, вибрация и пылевое загрязнение сведены к минимуму. Поэтому в этой сфере к подшипникам предъявляются особые требования.
Производство любого чипа включает в себя несколько процессов. Сначала кремниевые пластины нарезаются и полируются, а затем покрываются светочувствительным покрытием. Затем чип-пластина вставляется в литографическую машину, где подвергается воздействию ультрафиолета. После удаления деградировавшего резиста на пластине вытравливается необходимый рисунок. Затем компоненты на пластине нарезаются, тестируются и упаковываются. Подшипники используются буквально на каждом этапе производства.
1. Сверхчистая среда
Заводы по производству полупроводников должны соответствовать самым строгим протоколам. Одна пластина может пройти до 200 этапов обработки с соблюдением множества стандартов, а это означает, что производственная площадка должна быть полностью стерильной, а воздух должен быть свободен от частиц, которые могут повредить чипы.
Соответствие этим строгим отраслевым стандартам означает установку мощных систем отопления, вентиляции и кондиционирования чистых помещений, также систем фильтрации для очистки и циркуляции воздуха. Кроме того, некоторые машины в этих чистых помещениях могут иметь собственные системы для удаления нечистого воздуха и частиц.
2. Предотвращение дегазации
При производстве микроэлектроники одной из наиболее сложных проблем является молекулярное загрязнение воздуха. Выделение паров из материалов оборудования в чистых помещениях, таких как кремний, германий и арсенид галлия, является наиболее значительным источником загрязнения летучими органическими соединениями, которые могут негативно повлиять на производственные инструменты и увеличить затраты.
Поддержание стабильного производства полупроводников означает постоянный мониторинг для выявления источников загрязнения. Выбор материала подшипника и смазки может помочь предприятияи избежать осложнений за счет сведения к минимуму возможности газовыделения.
В условиях вакуума или в чистых помещениях наиболее оправдано использование подшипников из нержавеющей стали, поскольку она демонстрирует низкое газовыделение. Также неплохим выбором являются пластиковые подшипники, изготовленные из полиэфирэфиркетона, а также керамические подшипники из нитрида кремния, но окончательный выбор будет зависеть от конкретных нагрузок и условий эксплуатации
Еще одна проблема заключается в том, что большинство используемых смазок имеют летучие компоненты, которые испаряются, загрязняя окружающую среду. Поэтому на производствах полупроводников часто используются специальные перфторированные смазки с низкой летучестью и низким уровнем газовыделения. Если оборудование работает на низких скоростях, можно вообще не использовать смазку (особенно это оправдано для керамических и пластиковых подшипников), а для подшипников из нержавеющей стали можно выбрать «сухую» смазку, такую как дисульфид молибдена.
3. Уменьшение вибрации
Процессы нагрева, охлаждения и фильтрации, используемые для получения необходимого чистого воздуха, требуют слаженной работы насосов, труб, воздуховодов и вентиляционных систем, которые создают нежелательную вибрацию, если они не изолированы должным образом. Вибрации в чистом помещении и за его пределами могут серьезно повлиять на качество полупроводниковой продукции.
Высококачественные подшипники необходимы для минимизации шума и вибрации. В чистых помещениях они должны быть малошумными, чтобы предотвратить разрушительную вибрацию, которая может нарушить работу высокочувствительного оборудования, такого как литографические машины. Неровные или поврежденные шарики или дорожки качения, недостаточная смазка создают шум, который может препятствовать производству полупроводников. Поэтому необходимо регулярно контролировать чистоту поверхности и круглость шариков и колец подшипников.
Выбор смазки также имеет решающее значение для контроля вибрации. Мы рекомендуем использовать тонко отфильтрованные малошумные смазки, поскольку они содержат меньше твердых частиц, создающих шум при прохождении между шариками и дорожкой качения.
Если оборудование для нарезки полупроводниковых машин используется в течение длительного периода времени, также рекомендуется использовать смазку с низким уровнем шума, чтобы подшипник работал тихо. Выбор смазки должен быть тщательно продуман с учетом внутренней среды и температуры чистого помещения, а также требований к скорости работы.
Выбор высокоточных подшипников с низким уровнем шума и применение специальных смазок поможет заводам по производству полупроводников избежать нарушения работы высокочувствительного оборудования и поддерживать стабильное производство полупроводников в то время, когда отрасль отчаянно нуждается в отказоустойчивости.
Вы можете уточнить наличие и стоимость высококачественных импортных подшипников из нержавеющей стали, из промышленной керамики и трибополимеров для полупроводниковой промышленности на складе Подшипник.ру в Москве, а также заказать их доставку в любую точку России по телефону +7 (495) 543-89-93 или электронной почте info@podshipnik.ru.